应用
科慕杜邦Krytox VPF 1525用于半导体工业真空泵油，它得到世界著名真空泵制造商的认可，如莱宝Leybold、爱德华Edwards、荏原Ebara等的认可。尤其适用于半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。还适用于其他特种气体行业真空系统泵浦中。
优点
不易燃
非反应性
可安全用于氧气系统
粘度和蒸汽指标稳定可靠
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产品详细说明资料 物质安全资料MSDS 环保检测报告SGS
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